English
従来のテフロン製熱交換器に置き換わるチタン製熱交換器
世界初！品質・価格・効率を大幅改善！
超純水専用のチタン製熱交換器とは
材質がチタンのため、テフロンと比べ非常に大きな熱交換効率を得られます。
コンパクトで必要とされる冷却水量も少なくて済む利点を生かし、設備の局所的なラインで水温をコントロールする場合にも、設置スペースが小さくて済む事も大きな利点です。
価格もテフロン製と比べると、低コストでご提供できます。
従来のテフロン製熱交換器に置き換えて使用することができます。
超純水
- 不純物や金属イオンの溶出が極めて少ないので（TOC10ppbレベル）テフロン製熱交換器と同等の清浄度を保てます。
（複数の半導体製造装置メーカー様で実績があります。）
オゾン水
- オゾン水にも問題無く使用可能です。
世界初！チタンブレージングプレート式熱交換器を搭載
世界初のチタンブレージングスーパークリーン製法により部材・接合材ともチタン製のブレージング専門の技術を活かしたオリジナル熱交換器です。
従来のテフロン製熱交換機から大幅なサイズダウンに成功しました。
コンパクトになったことで軽量かつスペースを取らず配置もしやすくなっております。
半導体メーカーの成分分析で基準値をクリア
- TOC=10ppdで、スーパークリーン。コンタミレスを実現！
- 非抵抗=15MΩ以上でクリア。
テフロン製熱交換器との比較
- 1. 価格が安い
- 2. 非常にコンパクト
- 3. 冷却水の流量(使用量)を、少なく出来る(省エネ)
- 4. 冷却水温度と近い水温で、超純水を取り出す事が可能
(最大△t 2°C以内)
| 機種・型式 | TBS-MT05 | TBS-MT07 | TBS-MT11 | TBS-MT21 | TBS-LT21 | TBS-LT41 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法L×W×H | 310×90×25 | 310×90×33 | 310×90×47 | 310×90×82 | 580×150×80 | 580×150×156 |
| 回路数(高温/低温) | 5(2/3) | 7(3/4) | 11(5/6) | 21(10/11) | 21(10/11) | 41(20/21) |
| 伝熱面積(m²) | 0.085 | 0.128 | 0.213 | 0.427 | 1.388 | 2.776 |
| 設計圧力(MPa) | 2MPa | |||||
| 設計温度(°C) | -196°C~+200°C | |||||
| 流量(L/min) | 2~16 | 2~24 | 2~40 | 2~80 | 10~200 | 10~400 |
| 本体質量(kg) | 1.35 | 1.65 | 2.26 | 3.8 | 11.4 | 21.5 |
